IC5000可控溫勻膠機

可控溫勻膠機----邊旋涂，邊加熱，轉盤可控溫，發明專利的加熱控溫型勻膠機

產品特點：

●首款載物盤加熱型勻膠機，可實現邊加熱邊勻膠處理

●HDPE高分子內腔，PC透明蓋，鈑金烤漆外殼

●可靠的隔熱設計，確保電機及元器件安全

●24V加熱部件，確保過程中安全可靠

●可嵌入式安裝設計，降低高度放置在手套箱內

產品參數：

●轉盤加熱控溫范圍：室溫-150℃

●溫度分辨率：0.1℃

●控溫精度：<±0.5℃（穩定后控溫精度）

●轉盤溫度均勻性：≤±2%

●轉速范圍：100－5000RPM

●加速度范圍：100－5000RPM/S

●轉速分辨率：1RPM

●單步旋涂時間：3000S

●時間分辨率：1S

●可編程：100組100步

●可升級一路自動點膠功能

●標配可調卡爪載物盤(10-30方片或圓片可調)，其它需定制

●為避免基片全接觸加熱盤與抽真空干涉，標配不帶抽真空

●外型尺寸：280mm(W)*404mm(D)*270mm(H)