產品特點：

●高級伺服電機驅動，高精度、高重復性

●PLC控制，7寸全彩觸摸屏操作

●HDPE內腔，SUS外殼，耐溶劑PC透明蓋

●可添加背洗和去邊膠功能，滿足工業用途

●可嵌入式安裝在手套箱內，降低操作高度使用

●可處理基片尺寸小于1cm碎片至8“圓形底物

產品參數：

●轉速范圍：0－10000RPM

●加速度：0－50000RPM/S

●轉速精度：±1RPM（AC200-SE）

        ±0.1RPM（AC200-PE）

●單步時間設置：0-3000S

●時間分辨率：0.1S

●可編程：100組100步

●帶4只自動點膠端口，可升級多路自動點膠功能

●標配三種規格載物盤：直徑10mm,25mm,55mm

●VPC200無油真空泵可選

●外型尺寸：306(W)*433(D)*306(H)